Быстрый переход: Электронная библиотека Новые поступления Список подписных ресурсов АвторКожитов Л.В. Результаты поиска: 3 Сортировка по релевантности дате публикации (убыв.) дате публикации (возр.) шифрам авторам заглавиям Выбрать всю страницу | выбрать издание Блинов И. Г., Кожитов Л. В. Оборудование полупроводникового производства Москва : Машиностроение, 1986 книга выбрать издание Кожитов Л.В., Зарапин А.Ю., Чиченев Н.А. Технологическое вакуумное оборудование. Вакуумные системы технологического оборудования М. : Руда и металлы, 2001 книга выбрать издание Кожитов Л. В., Косушкин В. Г., Крапухин В. В., Пархоменко Ю. Н. Технология материалов микро- и наноэлектроники Москва : Изд-во МИСиС, 2007 книга Связанные предметы Монокристаллы Оборудование Производство Структура Тонкие пленки Эпитаксиальные слои