Технология материалов микро- и наноэлектроники книга

Авторы: Кожитов Л. В., Косушкин В. Г., Крапухин В. В., Пархоменко Ю. Н.

Авторы-организации: Московский государственный институт стали и сплавов (Технологический университет)

Москва : Изд-во МИСиС, 2007