Каталог библиотеки

Информация о документе /vufind/Record/RUPSTUbooks126153

62
Т384
Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.]. - Москва: Изд-во МИСиС, 2007.

всего в библиотеке: 2 экз.
отдел абонементов (ауд. 176) - 1 экз.
учебная библиотека ЭТФ - 1 экз.

Технология материалов микро- и наноэлектроники

Москва : Изд-во МИСиС, 2007

Содерж.: Управление ростом кристаллов как стохастическим процессом; Термическая обработка и повышение радиационной стойкости кремния; Нанополирование поверхности материалов электронной техники; Парофазная эпитаксия химическим осаждением; Получение и исследование скрытых проводящих, полупроводниковых...
Посмотреть весь текст описания

Шифр издания
62 Т384
Вид издания:
общий
Язык:
русский
Постоянный адрес этой страницы:
http://elib.pstu.ru/vufind/Record/RUPSTUbooks126153
Упрощённое библиографическое описание:
Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов [и др.]. - Москва: Изд-во МИСиС, 2007.
Ссылка для рабочих программ:
Теги:
Добавить тег
Тегов пока нет, Ваш тег будет первым!