Каталог библиотеки

Информация о документе /vufind/Record/RUPSTUbooks146118

621.38
В24
Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - Москва: , БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - (Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т.; Т. 1).

всего в библиотеке: 2 экз.
отдел абонементов (ауд. 176) - 2 экз.

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Т. 1 Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010

Содерж.: Физико-химические основы процессов формирования новой фазы на поверхности подложки: Общие понятия и определения основных терминов; Теоретические основы процессов гетерогенного фазообразования; Гетерогенные процессы реакционной конденсации из газовой фазы: Сведения из химической кинетики. Кр...
Посмотреть весь текст описания

открыть общее описание многотомного издания
Шифр издания
621.38 В24
Главные авторы:
Вид издания:
учебное издание
Язык:
русский
Постоянный адрес этой страницы:
http://elib.pstu.ru/vufind/Record/RUPSTUbooks146118
Упрощённое библиографическое описание:
Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - Москва: , БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - (Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т.; Т. 1).
Ссылка для рабочих программ:
Теги:
Добавить тег
Тегов пока нет, Ваш тег будет первым!