Каталог библиотеки

Информация о документе /vufind/Record/RUPSTUbooks148996

621.38
В24
Технологические аспекты / М. В. Акуленок [и др.]. - Москва: , БИНОМ. Лаб. знаний, 2011. - (Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т.; Т. 2).

всего в библиотеке: 2 экз.
отдел абонементов (ауд. 176) - 2 экз.

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий

Т. 2 Технологические аспекты

Москва : БИНОМ. Лаб. знаний, 2011

Содерж.: Формирование тонких пленок; Развитие методов осаждения проводящих материалов на поверхности со сложным нанорельефом; Эпитаксия кремния; Методы формирования диэлектрических плёнок; Сухое травление; Процессы легирования; Литографические процессы...
Посмотреть весь текст описания

открыть общее описание многотомного издания
Шифр издания
621.38 В24
Вид издания:
учебное издание
Язык:
русский
Постоянный адрес этой страницы:
http://elib.pstu.ru/vufind/Record/RUPSTUbooks148996
Упрощённое библиографическое описание:
Технологические аспекты / М. В. Акуленок [и др.]. - Москва: , БИНОМ. Лаб. знаний, 2011. - (Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов : в 2 т.; Т. 2).
Ссылка для рабочих программ:
Теги:
Добавить тег
Тегов пока нет, Ваш тег будет первым!