Каталог библиотеки

Информация о документе /vufind/Record/RUPSTUbooks7696

621.38
П781
Проблемы субмикронной технологии / С. Н. Автаева [и др.]. - Москва: Наука, 1993.

всего в библиотеке: 3 экз.
отдел абонементов (книгохранение) - 1 экз.
отдел абонементов (ауд. 176) - 1 экз.
учебная библиотека ЭТФ - 1 экз.

Проблемы субмикронной технологии

Москва : Наука, 1993

Содерж.: Исследования низкотемпературной плазмы CFі³Br и процесса глубокого анизотропного травления кремния в диодном реакторе / Автаева С. Н. и др. Особенности применения метода зондов для диагностики низкочастотного разряда в смеси CFі³Br/Ar в диодном плазмохимическом реакторе / Ершов А. П. и др...
Посмотреть весь текст описания

Шифр издания
621.38 П781
Другие авторы:
Вид издания:
общий
Язык:
русский
Серии:
Постоянный адрес этой страницы:
http://elib.pstu.ru/vufind/Record/RUPSTUbooks7696
Упрощённое библиографическое описание:
Проблемы субмикронной технологии / С. Н. Автаева [и др.]. - Москва: Наука, 1993.
Ссылка для рабочих программ:
Теги:
Добавить тег
Тегов пока нет, Ваш тег будет первым!